材料分析物理方法

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普通高等教育“十四五”规划教材

内容简介

本书总结了研究微观形貌、元素、结构与缺陷、原子识别等的主要现代方法，包括：高分辨电镜、分析型电镜、场离子显微镜和三维原子探针、俄歇谱仪和X射线光电子谱仪、扫描隧道显微镜和原子力显微镜，各章节的内容按照原理—结构—应用3个层面叙述。

目录

1 材料电子显微分析的基础方法

1.1 高能电子束与固态物质的相互作用

1.2 透射电子显微镜

1.3 扫描电子显微镜

1.4 X射线能谱仪

1.5 背散射电子衍射

2 高分辨电子显微镜

2.1 概述

2.2 电子显微镜相位衬度

2.3 透射电子显微镜分辨本领

2.4 高分辨像观察

2.5 高分辨像观察与分析的一般方法

3 分析型电子显微镜

3.1 分析型电子显微镜的工作原理与结构

3.2 STEM的电子衍射

3.3 STEM散射电子的高角环形暗场像

3.4 STEM EELS分析

3.5 能量过滤像

4 场离子显微镜和三维原子探针

4.1 场离子显微镜

4.2 三维原子探针

5 俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪

5.1 俄歇电子能谱仪

5.2 X射线光电子能谱仪

6 扫描隧道显微镜和原子力显微镜

6.1 扫描隧道显微镜

6.2 原子力显微镜