功能薄膜及其沉积制备技术

推荐语

功能薄膜是现代表面科学与技术中的重要组成部分，它已广泛地应用在微电子行业（超大规模集成电路、微电子器件、大容量高存储密度的芯片元件）、精密机械制造、生物医学材料、新能源（太阳能薄膜电池、燃料电池）、半导体照明（MOCVD技术的应用）、航空航天等国民经济的重要领域。功能薄膜在实现材料发展的复合化、多功能化、轻量化、智能化方面显示出了独特的优势，已成为材料科学研究和应用的热点领域。

内容简介

本书结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类及功能薄膜设计的原则；重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功能薄膜沉积制备方法、原理、工艺特点及适用的领域；在装饰与机械功能薄膜中，讲述了主要膜系、膜系的设计原则，并分别列举了装饰与机械功能膜的典型应用及发展趋势；在物理和特殊功能薄膜中，讲述了微电子、电磁、光学、光电子、集成光学等功能薄膜以及几种特殊的功能薄膜的特点及其典型的应用；最后扼要地介绍了微细加工技术、微机电系统加工的特点、典型器件与系统的新应用等内容。全书内容系统，深入浅出地介绍了一些新构思、新材料、新器件所实现的工程应用。

目录

1 绪论

1.1 薄膜的含义及特征

1.2 功能薄膜材料的选择与设计

1.3 功能薄膜材料的发展趋势

2 功能薄膜的沉积制备方法

2.1 概述

2.2 化学气相沉积技术

2.3 分子束外延技术

2.4 现代材料表面改性技术

2.5 物理气相沉积技术

2.6 新型镀制功能薄膜的复合镀膜技术

3 装饰功能薄膜

3.1 概述

3.2 装饰功能膜的主要膜系

3.3 装饰功能膜系设计的主要原则

3.4 彩色装饰膜

3.5 玻璃装饰功能膜

3.6 塑料金属化装饰膜和七彩膜

3.7 包装装潢用装饰膜

3.8 彩虹薄膜与镀铝纸

3.9 大面积装饰镀膜生产中应注意的技术

4 机械功能薄膜

4.1 概述

4.2 机械功能薄膜的主要膜系与设计膜层的原则

4.3 氮化物系

4.4 碳化物系

4.5 硼化物与硅化物系

4.6 金属与合金系

4.7 超硬薄膜

4.8 机械功能薄膜的主要工业应用

4.9 机械功能薄膜的发展

5 物理功能薄膜

5.1 概述

5.2 微电子功能薄膜

5.3 电磁功能薄膜

5.4 光学功能薄膜

5.5 光电子功能薄膜

5.6 集成光学功能薄膜

5.7 物理功能薄膜的应用

6 特殊功能薄膜

6.1 导弹雷达整流罩用的高温耐磨与透光功能薄膜

6.2 超高真空中的润滑用的功能薄膜

6.3 超固体润滑功能薄膜

6.4 航空航天用关键材料表面改性的特殊功效功能薄膜

6.5 多功能用途的金刚石膜和类金刚石膜

6.6 耐高压天然气冲蚀的密封面材料

6.7 热沉材料

6.8 高温条件下的耐磨功能薄膜

6.9 射线环境下的润滑与耐磨和核反应堆相关重要部件的涂层

6.10 超晶格特殊功能薄膜

7 材料表面微细加工技术及其在微机电系统中的应用

7.1 概述

7.2 表面微细加工技术

7.3 微细加工技术在微电子先进新技术中的应用

7.4 微细加工在微机械器件、微机电系统部件制造加工中的应用

7.5 微机电系统的加工与典型器件

7.6 微机电系统研究开发概况与产业化前景